IE414, IE514
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Alta precisão das medições devido ao sistema de detecção calibrado individualmente Cátodo
trocável
Extrema alta temperatura Cozimento de até 400 °C Princípio de detecção
IE414
Bayard-Alpert Faixa de medição até 2 × 10-11 mbar
Modulação da corrente de emissão do cátodo (em combinação com o controlador de vácuo IM540) Princípio de detecção do extrator IE514 Limite de
medição mais baixo, até 2 × 10-12 mbar Redução significativa de raios-X e dessorção de íons
