Transpector APX Multipressão
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INFICON Transpector APX continua sendo o analisador de gases residuais (RGA) líder de mercado para monitoramento de processos de semicondutores e displays. A INFICON sabe que os clientes de semicondutores e monitores têm necessidades exclusivas, e a revisão mais recente do Transpector APX permite maior flexibilidade para atender aos requisitos específicos da aplicação, mantendo a velocidade e a sensibilidade de medição líderes do setor. O Transpector APX é o monitor de processo RGA ideal para processos semicondutores, como ALD, CVD, PVD e Etch.
Design de plataforma específico de aplicação para maior vida útil em seu processo ALD ou CVD para a melhor proteção de pastilhas e painéis e otimização do processo.
ALD pronto com velocidades de medição de mais de 550 pontos de dados por segundo.
Redução da área de ocupação da fábrica em 30% e instalação mais fácil devido ao sistema de bombeamento de alto desempenho HexBlock™
configurável com revestimento proprietário da INFICON com até três entradas
