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HPG400 economiza custos e espaço para ferramentas e reduz a complexidade da instalação e configuração do sistema de vácuo. O medidor de íons quentes de alta pressão fornece medições de pressão precisas e confiáveis de 1 × 10-5... 1 mbar para melhorar o controle do processo A ativação de emissão de íon quente selecionável pelo usuário entre 5 × 10-2 e 1 mbar O bloqueio Pirani protege o filamento quente do desgaste prematuro A tela gráfica opcional e as interfaces Fieldbus disponíveis O ajuste automático do Pirani de alto vácuo reduz as intervenções do operador RoHS
